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使用管式爐時如何抽真空？
更新時間：2022-09-16 瀏覽量：2421
管式爐是根據(jù)溫度采用電阻絲，硅碳棒、硅鉬棒等材料為加熱元件，溫度可以達(dá)到1800度。具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)，是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
管式爐在進(jìn)行使用時，是在真空狀態(tài)下進(jìn)行工作的，所以抽真空是操作使用爐子時一項(xiàng)非常重要的步驟，如果做不好那么可能就會影響其使用效果，那么如何正確抽真空呢？
抽真空：確保管式爐進(jìn)氣口關(guān)閉，打開出氣口，連接真空泵，將爐管壓強(qiáng)抽至-0.09 Mpa，隨后關(guān)閉出氣口和真空泵。接著按氣瓶主閥、分壓閥（個示數(shù)0.5-1.0，第二個示數(shù)0.02）、管路開關(guān)、氣體流量計(jì)的順序打開氣路，打開進(jìn)氣口閥門。
待管式爐爐管內(nèi)壓強(qiáng)升至正壓（不超過0.02 Mpa）時，打開出氣口閥門，通過進(jìn)氣閥門及流量計(jì)調(diào)節(jié)氣體流速，一般以安全瓶中連續(xù)鼓出氣泡為準(zhǔn)。穩(wěn)定后，通氮?dú)?-20 min，把管內(nèi)空氣全部排空。
抽真空是管式爐使用中非常重要的一步，也是關(guān)系到其使用效果的重要條件，所以用戶在使用時一定要掌握好正確的方法。
